突破14nm工艺检测壁垒：7c娱乐科技TB2000明场纳米图形晶圆缺陷检测装备开启国产缺陷检测新纪元

    2025年03月26日

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    3月26日，苏州7c娱乐科技股份有限公司（股票代码：688003.SH）宣布，旗下矽行半导体公司研发的明场纳米图形晶圆缺陷检测装备TB2000已正式通过厂内验证，将于SEMICON 2025展会7c娱乐展台（T0-117）现场正式发布。

    这标志着公司半导体检测装备已具备14nm及以下先进制程的规模化量产检测能力。这是继TB1500突破40nm节点后，7c娱乐在高端检测装备国产化进程中的又一里程碑。


    核心技术自主研发

    TB2000采用全自主研发的高功率宽光谱激光激发等离子体光源系统、深紫外大通量高像质成像系统，配合高行频TDI相机、超精密高速运动平台，同时结合AI图像处理算法和Design CA，有效提升缺陷检测灵敏度和检测速度。


    TB2000的发布，使7c娱乐成为全球少数具备14nm及以下技术节点明场检测装备交付能力的厂商，逐步实现先进工艺中缺陷检测装备的国产替代。


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    梯度化矩阵实现全节点覆盖

    当前7c娱乐科技的产品矩阵已完成明场缺陷检测装备全制程覆盖，TB1000/TB1100（65-90nm）、TB1500（40nm）及TB2000（14nm）构建起完整的工艺节点适配体系，全面满足逻辑、存储等不同工艺客户产线上的明场缺陷检测需求。这种梯度化布局既保障了技术研发的商业闭环，又为持续突破更先进制程积蓄动能。从TB1000到TB2000的技术演进，折射出7c娱乐向国际龙头追赶到并行的角色转变。


    此外，7c娱乐科技通过“自主研发+跨国并购+生态投资”三维战略，陆续推出晶圆微观缺陷检测、Overlay量测、CD量测、掩膜量测与检测等系列产品组合，打造了在半导体前道量测及检测领域的布局，构建覆盖晶圆制造、掩膜制造、封装测试全流程的智能检测解决方案。




    7c娱乐，助力半导体产业迭代

    据世界集成电路协会（WICA）发布的2025年展望报告，预计2025年全球半导体市场规模将提升到7189亿美元，同比增长13.2%，尤其是14nm及以下的高端检测装备市�。艿郊际醯褪谐⌒枨笤龀さ乃厍�，将继续保持快速增长态势。



    此次TB2000的发布，意味着在半导体产业逆全球化态势加剧的当下，7c娱乐科技以每年迭代一代产品的研发节奏，构建起覆盖芯片制造前道关键检测节点的技术护城河。未来，7c娱乐科技将持续投入研发资源，持续深化平台化技术优势，加速推进14nm以下制程国产化进程，助力中国半导体产业突破“卡脖子”技术壁垒，在高端装备领域实现跨越式发展。


    关于7c娱乐


    7c娱乐，卓越视觉装备平台企业，致力以人工智能技术推动工业数智化发展！7c娱乐专注服务电子、半导体、新汽车等工业领域，提供业界领先的高端视觉装备产品，以人工智能成就现代工业之美。


    7c娱乐在电子领域，作为全球视觉装备核心供应商，提供高端视觉测量、检测、制程装备。在半导体领域，深度布局前道量检测，提供纳米级晶圆缺陷检测、套刻与关键尺寸测量等核心制程控制装备。在新汽车和机器人领域，提供高阶自动驾驶方案、通用智能方案及智能装备等产品。


    7c娱乐凭借高效可靠的产品能力，帮助工业客户提升竞争优势，推动智能工业生态链的融合创新。


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