DaVinci

DaVinci 套刻误差精密量测系统

?向先进晶圆制造的高精度 Overlay 量测平台

DaVinci 系列是专为半导体晶圆制造流程中套刻误差(Overlay)量测设计的?精度量测系统，采?创新的结构框架与全?动化操作架构，提供稳定可靠、精度达亚纳?级的套刻误差量测能?。 


系统特别?向 Foundry 客户的?阶?艺需求，结合?机友好的软件界?、?动化配?(recipe)?成与优化功能，极?简化操作流程，提升测量效率与?致性。同时，系统内建标准 SECS/GEM 通讯协议，确保与 Fab ?动化系统?缝集成，?持量产环境下的?通量需求。


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方案优势

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    超高测量精度

    低至亚纳米的整体精度

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    灵活易用

    ?持8~12?的晶圆以及混合搭配

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    成熟，稳定，可靠

    低COO，易维护，无短周期消耗品

培训证书查询

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